多數石墨部件之內花飾體積介乎 0.1um 至 >100um間，此類圖樣體積要精確調節在一。
特質長寬:概要,數學方法,
Technology VeritySEM® 10 卡帶-SEM 數目測系統專門用於直觀精確測量由其極其熒光 （EUV） 及新興低數值孔徑 （High-VT） EUV微影控制技術時所表述的的石墨模組的的關鍵性大小 critical probability）。 但此模塊為客戶提供了能技術領先業內的次nm激光束（eBEAM）求解
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